江苏30m³/h超纯水系统
所属行业：电子半导体
项目规模： 15m3/h氮磷纯水+30 m3/h非氮磷超纯水
工艺简介：多介质过滤+两级反渗透+EDI+超纯水精处理
产水：电阻率≥18MΩ·cm，TOC＜200ppb，SiO2＜50ppb，粒子＜10个/mL
项目规模： 15m3/h氮磷纯水+30 m3/h非氮磷超纯水
工艺简介：多介质过滤+两级反渗透+EDI+超纯水精处理
产水：电阻率≥18MΩ·cm，TOC＜200ppb，SiO2＜50ppb，粒子＜10个/mL
关键词：
所属分类：
案例描述
项目简介：
15m3/h氮磷超纯水系统原水为15m3/h氮磷零排放系统淡水，30m³/h超纯水系 统，原水水源为当地自来水。根据原水水质及产水水质要求，采用原水多 介质过滤+两级反渗透+EDI+超纯水精处理，整套系统为全自动控制。
